Носферату" - единственная продукция Prana Film. Компания Prana Film была основана в 1921 году Энрико Диекманном и Альбином Грау. У Грау возникла идея снять фильм о вампирах; вдохновением послужил военный опыт Грау: зимой 1916 года сербский крестьянин рассказал ему, что его отец был вампиром и одним из нежити.
Дикманн и Грау дали Хенрику Галеену работу над сценарием по мотивам романа Брэма Стокера "Дракула" 1897 года, несмотря на то, что у Prana Film не было прав на фильм. Гален был опытным специалистом по темному романтизму; он уже работал над "Пражским студентом" в 1913 году и сценарием фильма 1920 года "Голем, как он пришел в мир". Гален поместил сюжет в вымышленный северогерманский портовый город Висборг и изменил имена персонажей. Он добавил идею о том, что вампир принес чуму в Висборг через крыс на корабле. Он оставил в стороне персонажа Ван Хельсинга, охотника на вампиров. Сценарий Галеена в стиле немецкого экспрессионизма был поэтически ритмичным, но не таким расчлененным, как другие книги, написанные под влиянием литературного экспрессионизма, например, книги Карла Майера. Лотте Эйснер описала сценарий Галена как "voll Poesie, voll Rhythmus" ("полный поэзии, полный ритма").
Диекманн и Грей выиграли у режиссера Фридриха Вильгельма Мурнау, который снимал фильмы до 1919 года, но за первые семь постановок приобрел репутацию талантливого режиссера. Грей, учившийся в Художественной академии в Дрездене, занял пост художественного руководителя и разработал декорации и костюмы. За саундтрек отвечал музыкальный руководитель "Прана-фильм" Ханс Эрдманн. На главную роль был приглашен никому не известный актер Макс Шрек из Мюнхена. На другие роли были приглашены актеры экспрессионистского театра Макса Рейнхардта, такие как Грета Шредер, Густав фон Вангенхайм и Александр Гранах, бывший однокурсник Мурнау по актерской школе Рейнхардта в Немецком театре.
Съемки начались в июле 1921 года. Наружные съемки проходили в Висмаре. Дубль с башни Мариенкирхе над Висмарским рынком и Висмарской Вассеркунст послужил установочным кадром для сцены в Висборге. Другими местами съемок были Вассертор, двор Хайлиген-Гейст-Кирхе и гавань. В Любеке заброшенный Зальцшпайхер послужил новым домом Носферату в Висборге, церковный двор Эгидиенкирхе - Хаттерсом, а по Депенау гробоносцы несли гробы. Многие прогулки по Любеку проходили в охоте за Ноком, который заказал Хаттера во дворе Фюхтинга для встречи с графом. Далее последовали внешние съемки в Лауэнбурге, Ростоке и на острове Зюльт. Съемочная группа отправилась в Карпатские горы, где замок Орава послужил фоном для полуразрушенного замка Орлока. Были использованы и близлежащие места: пребывание Хуттера в Дольном Кубине; речное путешествие с гробами, снятое на реке Ваг; панорамы горного массива Высокие Татры. Интерьерные съемки проходили на студии JOFA в берлинском районе Йоханнисталь, а экстерьерные - в Тегельском лесу. Части фильма, снятые в Трансильвании, также снимались в Словакии.
По соображениям экономии средств у оператора Фрица Арно Вагнера была только одна камера, и поэтому был создан только один оригинальный негатив. Режиссер тщательно следовал сценарию Галена, выполняя рукописные инструкции по расположению камеры, освещению и другим вопросам. Тем не менее Мурнау полностью переписал 12 страниц сценария, поскольку текст Галена отсутствовал в рабочем сценарии режиссера. Это касалось последней сцены фильма, в которой Эллен жертвует собой, а вампир погибает в первых лучах солнца. Мурнау тщательно готовился; были наброски, которые должны были точно соответствовать каждой снятой сцене, и он использовал метроном, чтобы контролировать темп игры актеров.
Поскольку в "Носферату" камера была в основном статичной и неподвижной, Мурнау использовал движение и дифференциацию внутри жесткого кадра, чтобы наполнить сцену энергией. Когда корабль Орлокса медленно движется справа налево по киноэкрану, Мурнау использовал это, чтобы "мощный эффект впечатления поперечного движения" Эйснера подчеркнул бы образование. Это служило той же цели субъективизации взгляда камеры, например, когда вампир снимается на корабле с лягушачьей перспективы или стоит, выглядывая из окон, части кадра и снимается в поле зрения. Кульминацией субъективированного взгляда являются сцены, в которых персонаж-вампир - прямо обращенный к камере - поворачивается к зрителям и тем самым нарушается четвертая стена: "Вампир кажется своей необъятностью, размерами экрана взрывом и прямой угрозой зрителям".
