Индуктивно связанная плазменная масс-спектрометрия (ИСП-МС) является высокочувствительным видом масс-спектрометрии. Она может видеть ряд металлов и несколько неметаллов при концентрациях ниже одной части в 1012 году (часть на триллион). Она основана на соединении индуктивно связанной плазмы как метода получения ионов (ионизации) с масс-спектрометром как метода разделения и обнаружения ионов. Многие химики используют аргон в качестве газа-носителя для создания плазмы. Машина посылает ионы образца через серию маленьких конусов. Конусы пропускают ионы плазмы медленно в вакуумную камеру масс-спектрометра.
При анализе микроэлементов этот метод обладает преимуществами высокой скорости, точности и чувствительности по сравнению с методами атомного поглощения. Анализ более низких концентраций в то же время более склонен к разрушению под воздействием следовых загрязнений в используемом лабораторном оборудовании и реагентах. Некоторые аналитики не могут работать с ICP-MS. Проверка результатов анализа требует дополнительной работы.
Разнообразие приложений превосходит ICP-OES и включает в себя изотопное видообразование. Поскольку ICP-MS может помочь в изготовлении атомных бомб, оборудование ICP-MS является предметом специальных правил экспорта.